临界点干燥仪_ebd

fiogf49gjkf0dEMS850临界点干燥仪EMS850临界点干燥仪设计用于与CO2使用，已通过一系列脱水首先代替样本里任何水，经常在同样的液体中，如也作为中间液体的丙酮。临界点干燥的样本位于EMS850的压力舱。舱体进行预冷，从而能容易将煤气罐中液态CO2充满到压力舱。舱体然后加热到临界温度，后面的临界压力同时获得。CO2气体通过针型阀来排放，从而避免样本变形。EMS850配备有热电子的加热和冷却，以及+5℃冷却和+35℃加热的温度控制。这保证临界点精确获得，避免超过压力或温度，或需要依赖压力安全阀来控制在加热周期内的压力。膛是垂直的，有顶加载，保证加干燥过程中样本不会变成无覆盖。当最初填满膛时，用侧边观察口来定位校准水位的半月板。EMS850配有一个作为标准微下降针，流量计也就不再需要。1.垂直膛顶部填充和底部排水2.正常工作温度35℃压力1500psi3.热电的帕尔贴冷却和加热4.微调控制针阀压力减低5.受照的膛带有侧观察窗和防护的Lexan盾6.搅拌器系统用于增强的溶剂交换7.用热断路器保护进行温度监测和控制8.用安全阀进行压力监测和破裂片保护9.聚碳酸酯防护屏EMS850WM加大型临界点干燥仪EMS850WM是一个压缩的台上用仪器，设计用于临界点干燥一个完整的150mm/6"晶圆。一个便捷的晶圆保持器允许快速转换，且保证预干燥不会发生。1.170mm直径膛-最佳化晶圆/MEMS干燥2.垂直膛带顶部加载和底部排水，保证样本在干燥过程中不会变成无盖。3.热电加热-精确的温度控制4.微调控制针阀压力降低-精确控制5.用热断路器保护来进行温度监控6.用安全断流器进行压力监测超压特性利用EMS4860再循环加热器/冷却器，EMS850WM已嵌入加热和水冷却功能。这确保临界点准确获取，避免超压或超温，或需要依赖减压阀啦控制加热周期内的压力。EMS850WM有一个垂直膛，允许样本顶部加载。一个观察口装在顶板用于样本观察。样本交换机构易用且能保证样本在加载中保持在液体下。样本处理100mm或150mm直径的晶圆放在一个特氟龙托盘中处理。含晶圆的托盘浸入到丙酮中，从而去除样本的所有水分。脱水后，用晶圆传送装置将晶圆和支架转到预冷的样品室。临界点干燥过程结束时，深加工之前，晶圆会被用转移装置从样本室移除。仪器参数：仪器尺寸450mm(W)x350mm(D)x175mm(H)重量12Kg样品腔尺寸32mm(Dia.)x47mm(H)(3000psi压强检测)温度范围0-120°C热分离点40°C压力范围0-3000psi压力释放1500psiRuptureDisc1900psi冷却/加热+5°Cto+35°C两个开关阀入口/出口/制冷/针阀减压电源230V50Hz(最大电流3A包括泵)保养通过耐高压气管与CO2气缸直接相连（仪器内含高压气管）产品信息：货号产品名称规格91090EMS850CriticalPointDryercomplete台除了EMS850型外，EMS还推出应用于电子行业晶圆干燥的EMS850WM(大样本临界点干燥仪)、应用于大样品干燥的（水平大腔室）EMS3000以及超大样品室的EMS3100等二氧化碳临界点干燥仪系列产品，客户可根据需要加以选择。